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検査面の2本の対角線上に、真直度公差0.1mmのスチール製平定規を自然に置き、フィーラーゲージまたはノギスで定規面と基板面の隙間を測定する。
最大隙間の測定値は、基板の平坦度を示します。測定値の精度は0.1mmです。